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文档序号:9201737

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夹持装置(11)通过步进马达(24)使第1及第2螺旋弹簧(22、23)旋转而使第1及第2机械手部件(32、33)进行直线移动,通过两个机械手部件(32、33)来夹持工件(W)。夹持装置(11)具备磁传感器(34),磁传感器(34)检测伴随第...
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