下载一种具有结型场板的SOI功率LDMOS器件的技术资料

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一种具有结型场板结构的SOI功率LDMOS器件,属于功率半导体器件技术领域。这种JFP?SOI?LDMOS器件采用PN结作为场板,并利用高K介质作为场板介质。一方面,结型场板的PN结电场调制器件表面电场,改善器件的电场分布,提高器件耐压;另...
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