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本发明提供一种离子源装置及离子束生成方法。该离子源装置具备如下结构，即在具有等离子体形成用空间的电弧室设置阴极，并且以中间隔着所述等离子体形成用空间地与所述阴极的热电子放射面对置的方式配置反射极。构成为，向所述等离子体形成用空间沿与连结所述...
该专利属于斯伊恩股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过斯伊恩股份有限公司授权不得商用。

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