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本发明涉及位置测量设备和具有这种位置测量设备的装置。该位置测量设备用于检测第一对象相对于第二对象的位置，其中第一和第二对象被布置为能沿着至少两个测量方向相对运动。位置测量设备具有光学单元，该光学单元与两个对象之一连接并且以所定义的布置具有至...
该专利属于约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司授权不得商用。

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