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本发明涉及靶材生产制备领域，具体而言，涉及一种锗锑碲化合物相变材料溅射靶材生产方法。包括：将质量分数为13%～16%的锗，22%～25%的锑，60%～64%的碲混合，组成原料；对原料进行真空熔炼处理，得到GeSbTe金属化合物；将GeSbT...
该专利属于成都先锋材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都先锋材料有限公司授权不得商用。

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