温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种主驱动抛光基盘的浮离抛光装置，包括机座、悬浮基盘和研磨盘，悬浮基盘与加压组件连接，研磨盘通过主驱动器绕固定中心轴线转动，悬浮基盘与研磨盘相对面沿圆周方向设有楔形槽和用以放置待加工工件的加工工位，楔形槽中充满研磨液，楔形槽和加工工位间隔设...
该专利属于浙江工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江工业大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。