下载晶体硅太阳能电池及其制作方法的技术资料

文档序号:9172338

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本发明公开了一种晶体硅太阳能电池及其制作方法,该晶体硅太阳能电池包括硅衬底和生长在硅衬底表面的氮化硅薄膜,在所述硅衬底和氮化硅薄膜之间还生长有氧化硅薄膜或非晶硅薄膜。本发明具备抗PID的性能,而且不降低太阳能电池的转换效率性能。...
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