下载包含多层存储单元的非易失性存储器及其制造方法的技术资料

文档序号:9172249

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本发明涉及非易失性存储器及其制造方法,该存储器通过在半导体基底上层叠半导体层而形成多层结构的半导体层,并在半导体基底与层叠于该半导体基底上的半导体层之间、以及层叠为多层结构的半导体层之间形成层间绝缘层,其中,在半导体基底上或多层结构的各半导...
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