下载半导体的3D传输线的技术资料

文档序号:9172218

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提供了一种半导体RF或无线回路的传输线结构及其形成方法。传输线结构包括实施例,具有第一管芯,该第一管芯包括第一衬底、第一绝缘层和接地层;以及第二管芯,该第二管芯包括第二衬底、第二绝缘层和信号传输线。第二管芯可能定位于第一管芯上方并与其间隔开...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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