下载在贴膜机上更换晶圆保护膜的方法的技术资料

文档序号:9172092

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本发明提供一种在贴膜机上更换晶圆保护膜的方法,属于半导体芯片制造领域。该方法包括以下步骤:在第一位置剪断第一晶圆保护膜;从所述传送滚轮上移走第一晶圆保护膜;在所述传送滚轮上安装第二晶圆保护膜;从头部拉出部分所述第二晶圆保护膜,使用胶带将所述...
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