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本发明公开一种用于紫外线硬化配向中支撑基板的装置及其方法。该装置包括：多个温控针(31)，用于支撑所述基板(33)；温控系统(32)，连接所述温控针(31)，所述温控针(31)由该温控系统(32)独立地控制温度，以使所述基板(33)与所述温...该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。
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本发明公开一种用于紫外线硬化配向中支撑基板的装置及其方法。该装置包括：多个温控针(31)，用于支撑所述基板(33)；温控系统(32)，连接所述温控针(31)，所述温控针(31)由该温控系统(32)独立地控制温度，以使所述基板(33)与所述温...