用于紫外线硬化配向中支撑基板的装置及其方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种用于紫外线硬化配向中支撑基板的装置及其方法。该装置包括：多个温控针(31)，用于支撑所述基板(33)；温控系统(32)，连接所述温控针(31)，所述温控针(31)由该温控系统(32)独立地控制温度，以使所述基板(33)与所述温控针(31)的温度保持一致，并使得所述基板(33)上的温控针(31)的支撑位置与该支撑位置的周围受热均匀，进而使得所述基板(33)整体受热均匀。本发明专利技术的用于紫外线硬化配向中支撑基板的装置及其方法可消除或减少Pin?Mura现象，并且不需要减少温控针的数量，避免基板产生弯曲变形，提高加压探针在施加电压时与基板的接触良率。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于紫外线硬化配向中支撑基板的装置，其特征在于，包括：多个温控针(31)，用于支撑所述基板(33)；温控系统(32)，连接所述温控针(31)，所述温控针(31)由该温控系统(32)独立地控制温度，以使所述基板(33)与所述温控针(31)的温度保持一致，并使得所述基板(33)上的温控针(31)的支撑位置与该支撑位置的周围受热均匀，进而使得所述基板(33)整体受热均匀。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：宋涛，赵国栋，刘明，马涛，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：