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本发明提供一种搬送探针卡且进行安装时能够可靠地进行交接、并能够抑制探针卡地破损等的发生的探针装置和探针装置的探针卡安装方法，其包括：卡夹持机构；晶片吸盘；盘，其下表面配置有对位用标记；盘支承机构，其能够支承盘；摄像机；移动机构，其用于将盘搬...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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