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本发明公开了一种基于SU-8光刻胶的光纤法布里-珀罗加速度传感器及其制作方法。该传感器在硅基底上利用近紫外光刻SU-8光刻胶层形成一个“卍”字型悬臂梁-质量块结构，质量块的下表面与光纤的端面形成法布里-珀罗腔。制作方法为：在经过表面处理过的...
该专利属于南京师范大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京师范大学授权不得商用。

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