【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种光纤法布里?珀罗加速度传感器,其特征在于:传感器的法布里?珀罗干涉腔由SU?8光刻胶的“卍”字型悬臂梁?质量块结构和单模光纤构成,并封装在充满硅油的封装装置中,所述“卍”字型悬臂梁?质量块结构的表面镀有一层增反材料膜。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:王鸣,尤晶晶,戴丽华,朱佳利,
申请(专利权)人:南京师范大学,
类型:发明
国别省市:
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