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本发明的增强型狭缝光波导外延型光栅FP腔光学生化传感芯片，包括自下而上依次层叠键合的硅基层、二氧化硅层和单晶硅层构成的基体，基体的单晶硅层包含狭缝光波导，狭缝光波导的光信号传播路径上包含光栅FP腔，增强狭缝槽位于所述光栅FP腔的两个光栅之间...
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