下载压力传感器芯片的技术资料

文档序号:9169321

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本发明涉及一种压力传感器芯片。其降低因传感器隔膜的约束而产生的应力,确保所期待的耐压。与传感器隔膜(1-1)的一面面对面的挡块构件(11-2)的周边部(11-2c)的区域(S1)当中,将外周侧的区域(S1a)作为与传感器隔膜(11-1)的一...
该专利属于阿自倍尔株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过阿自倍尔株式会社授权不得商用。

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