下载角速度传感器的技术资料

文档序号:9169123

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一种角速度传感器(100)包括:振动器(11),其位于沿着由彼此正交的x方向和y方向规定的x-y平面中;基板(12),其在垂直于x-y平面的z方向上与所述振动器(11)分离;锚固装置(13),其从所述基板(12)延伸到所述振动器(11)所位...
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