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一种大规模集成电路用高纯钨粉的制备方法，属于钨粉末冶金技术领域。本发明以工业0级偏钨酸铵为原料，在550-600℃煅烧后于浓氨水中进行溶解形成钨酸铵溶液，钨酸铵溶液通过10μm和1μm过滤器滤去除不溶物等杂质后于90-120℃下进行重结晶得...
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