温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明属于太阳能光伏领域硅片处理用气氛保护组合式石英玻璃加热腔。具体公开组合式石英玻璃加热腔，包括带有用于放置待加热的颗粒硅带及硅片的可拆卸的透明石英玻璃腔体，透明石英玻璃腔体上设有若干用于聚焦光线、内表面为部分圆柱面的圆柱状石英玻璃覆盖件...
该专利属于中山大学所有，仅供学习研究参考，未经过中山大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。