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本发明的狭缝光波导外延光栅FP腔级联型光学生化传感芯片，包括自下而上依次层叠键合的硅基层、二氧化硅层和单晶硅层构成的SOI基体，SOI基体的单晶硅层包含光学耦合连接的两个外延型光栅FP腔，所述外延型光栅FP腔的外延型光栅形成于SOI基体外侧...
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