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一种用于柔性衬底上有机薄膜器件制备的集成装置，该集成装置包括驱动控制单元、用于制备加工作业的手套箱(1)和用于真空热蒸镀作业的蒸镀室(3)，所述蒸镀室内安装有用于固定安装柔性衬底的蒸镀滚筒(31)，其中该装置还包括在所述蒸镀室和手套箱之间设...
该专利属于国家纳米科学中心所有，仅供学习研究参考，未经过国家纳米科学中心授权不得商用。

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