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一种物理气相沉积的反应室腔体零件的清洁方法。该方法包括下列步骤：清洗该反应室腔体零件；对该反应室腔体零件进行涂膜以形成一中介层；以及当所述中介层表面累积一特定厚度的金属镀膜发生破裂或剥落后，去除所述中介层。通过本发明能增加该反应室腔体零件的...
该专利属于金文焕所有，仅供学习研究参考，未经过金文焕授权不得商用。

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