下载光学芯片切割夹具、芯片切割装置以及光学芯片切割方法的技术资料

文档序号:9135363

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本发明提供一种光学芯片切割夹具,可以使得一次切割多片芯片,并且切割后的芯片成品率更高。该光学芯片切割夹具包括夹具基座和夹具上盖;所述夹具基座上设有固定螺栓和至少两个立柱以及至少两个基座镂空轨迹,该基座镂空轨迹的形状与待加工的光学芯片形状相应...
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