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文档序号:9130172

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本实用新型提供了一种半导体结构,包括:衬底(100),所述衬底(100)包括位线方向和字线方向;栅堆叠,位于所述衬底(100)之上,所述栅堆叠由第一绝缘层(110)和浮栅、第二绝缘层(170)和控制栅(180)从下往上依次堆叠而成;所述浮栅...
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