温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
一种双面抛光机的手持取硅片工具，它包括：手持部分，与手持部分连接的夹持部分，所述的夹持部分为同心圆上的两段弧，弧的横断面呈Ｖ形沟槽。取片时可以用手握住手持部分，使硅片在水的冲力下滑入到弧形沟槽内以防滑出，同时避免接触到硅片的正面，以及取片时...该专利属于北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司授权不得商用。