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本发明提供一种能够抑制多晶体的生成的SiC单晶体的制造装置。在腔室(1)内容纳有夹具(41)和坩埚(6)。在坩埚(6)内容纳有SiC溶液(8)。夹具(41)包括晶种轴(411)和盖构件(412)。晶种轴(411)能够升降,在晶种轴(411)...该专利属于新日铁住金株式会社;丰田自动车株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过新日铁住金株式会社;丰田自动车株式会社授权不得商用。
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