下载SiC单晶体的制造装置、在制造装置中使用的夹具以及SiC单晶体的制造方法的技术资料

文档序号:9116500

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本发明提供一种能够抑制多晶体的生成的SiC单晶体的制造装置。在腔室(1)内容纳有夹具(41)和坩埚(6)。在坩埚(6)内容纳有SiC溶液(8)。夹具(41)包括晶种轴(411)和盖构件(412)。晶种轴(411)能够升降,在晶种轴(411)...
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