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本发明揭示了一种铝衬垫形成方法，包括将铝衬垫分至少两次沉积，其中，第一次沉积的温度低于第二次沉积的温度。本发明的铝衬垫形成方法，第一次沉积在低温下生长薄的第一铝层，第二铝层在高温下生长，由于所述第一铝层生长的环境温度低，所以，所述第一铝层晶...
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