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本发明实施例公开了一种薄膜厚度的测试方法和装置，涉及测试领域，能够在保证测试精度的同时，降低测量薄膜的厚度的成本。该薄膜厚度的测试方法包括：将测试掩膜覆盖在基板的表面上，所述测试掩膜具有多个镂空；对所述覆盖有测试掩膜的基板进行溅射镀膜；移除...
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