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多级磁场直管磁过滤与脉冲偏压复合的电弧离子镀方法,属于材料表面处理技术领域,本发明为解决弧源上施加磁过滤引起等离子体传输效率低和脉冲偏压不能彻底清除大颗粒的问题。本发明方法包括:一、将工件接脉冲偏压电源,电弧离子镀靶源接靶电源,在靶源前接多...
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