温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种光阻涂布设备及光阻涂布方法。所述光阻涂布设备，包括平台及光阻涂布装置，所述平台用于置放并固定待涂布光阻的基板，所述光阻涂布装置包括位于所述平台上方的控制机构及喷嘴，所述光阻涂布设备进一步包括设于所述平台两侧并随所述光阻涂布装置...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。