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本发明涉及用于操作对象，更特别地用于操作电子部件的装置，包括杆机构（１，２０，４０，５０，６０，８０），两个独立的致动器（４，５，２３，２４，４３，８１）和用于补偿动态反作用力和／或反作用力矩的平衡机构（５３，５４，６３－６６，８６）。本发...该专利属于比翼半导体工业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过比翼半导体工业股份有限公司授权不得商用。
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本发明涉及用于操作对象，更特别地用于操作电子部件的装置，包括杆机构（１，２０，４０，５０，６０，８０），两个独立的致动器（４，５，２３，２４，４３，８１）和用于补偿动态反作用力和／或反作用力矩的平衡机构（５３，５４，６３－６６，８６）。本发...