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烧结体溅射靶制造技术
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文档序号:9088887
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本发明涉及一种烧结体溅射靶,含有Cr、Co作为金属成分,并且包含分散在该金属成分的基质中的氧化物,其特征在于,该溅射靶的组织在金属基质中具有在Co中分散有Co氧化物的区域(A)和在该区域(A)的周缘的含有Cr氧化物的区域(D)。本发明还涉及...
该专利属于吉坤日矿日石金属株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过吉坤日矿日石金属株式会社授权不得商用。
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