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一种大功率半导体激光器腔面解理钝化方法,属于半导体光电子器件工艺技术领域。本发明的意义在于提高半导体激光器的出输出功率,在基本不改变半导体激光器前后腔面膜结构的情况下,提高大功率半导体激光器的COD阈值和寿命及稳定性。此方法是现在高真空的解...
该专利属于长春理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过长春理工大学授权不得商用。

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