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一种横向高压功率器件的结终端结构制造技术
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文档序号:9087583
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一种横向高压功率半导体器件的结终端结构,属于功率半导体器件技术领域。本发明针对专利文献CN102244092B提供的一种横向高压功率半导体器件的结终端结构中直线结终端结构和曲率结终端结构相连部分的电荷平衡问题,在保持器件表面横向超结掺杂条宽...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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