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本发明提供了一种TFT阵列基板的制作方法，包括：提供半成品基板，包括基板、栅极线、栅极保护层、TFT、信号线、共通线和钝化层；在钝化层表面上形成保护层，保护层内具有贯穿保护层的通孔，通孔位于待形成栅极线接触孔位置处；以保护层为掩膜，去除待形...
该专利属于信利半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过信利半导体有限公司授权不得商用。

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