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本发明公布了一种超短脉冲激光烧蚀氮化硅的模拟计算方法，利用Matlab对加工参数进行模拟计算分析，主要步骤包括：建立超短脉冲激光烧蚀氮化硅的烧蚀模型，对计算参数进行初始化；定义等离子体密度边界条件，并通过模型计算在不同模拟参数下的烧蚀阈值、...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

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