下载一种采用磁控溅射镀膜的电子器件及其制造方法的技术资料

文档序号:9085003

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种采用磁控溅射镀膜的电子器件,并提供了其制造方法。其方法包含:将清洁的基体放入真空容器中、抽真空到10-4Pa、通入高纯氩气至0.5Pa、高能氩离子清洗、溅射金属铜至需要的厚度、溅射金属银至需要的厚度、溅射4∶1的CuMo合金...
该专利属于苏州奕光薄膜科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州奕光薄膜科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。