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本发明公开了一种锰掺杂的铌酸钾钠基无铅压电薄膜的制备方法，该发明是以非醇铌盐溶胶-凝胶法为基础，提供一种简单、易控制的工艺方法，首先制备稳定的锰掺杂KNN溶胶，然后在(Pt/TiO2/Ti/SiO2/Si)基片上旋涂KNN溶胶，转速为320...
该专利属于齐齐哈尔大学所有，仅供学习研究参考，未经过齐齐哈尔大学授权不得商用。

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