温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提出一种抽真空系统，用于为与其相连的真空热处理器抽真空，所述抽真空系统包括为所述真空热处理器获得真空度的真空泵。所述抽真空系统进一步包括冷阱，所述冷阱设置于所述真空热处理器和所述真空泵之间。所述抽真空系统利用所述冷阱可快速地吸附水汽、...
该专利属于中国科学院理化技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院理化技术研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。