【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种抽真空系统,用于为与其相连的真空热处理器抽真空,所述抽真空系统包括为所述真空热处理器获得真空度的真空泵,其特征在于,所述抽真空系统进一步包括冷阱,所述冷阱设置于所述真空热处理器和所述真空泵之间。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:徐鹏,龚领会,刘辉明,徐冬,李来风,陈杰,高金林,
申请(专利权)人:中国科学院理化技术研究所,
类型:发明
国别省市:
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