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石墨加热器、石墨电极和降低硅片中碳含量的方法技术
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下载石墨加热器、石墨电极和降低硅片中碳含量的方法的技术资料
文档序号:9079365
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本发明提供了一种石墨加热器、石墨电极和降低硅片中碳含量的方法。该石墨加热器包括石墨加热器本体和设置在石墨加热器本体的表层的将石墨加热器本体与外界隔离开的隔离层。根据本发明的石墨加热器,设置在石墨加热器表层的隔离层能将石墨加热器和外界隔离开,...
该专利属于英利能源(中国)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英利能源(中国)有限公司授权不得商用。
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