下载沉积装置及用其制造有机发光二极管显示器的方法的技术资料

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一种沉积装置及用其制造有机发光二极管显示器的方法。一种沉积装置,其包括沉积源、角度控制部以及与角度控制部联接的角度控制部驱动器,沉积源用于排放待沉积在衬底上的沉积材料,角度控制部至少部分处于沉积材料的排放路径中用于控制沉积材料的排放角度,角...
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