沉积装置及用其制造有机发光二极管显示器的方法制造方法及图纸

一种沉积装置及用其制造有机发光二极管显示器的方法。一种沉积装置，其包括沉积源、角度控制部以及与角度控制部联接的角度控制部驱动器，沉积源用于排放待沉积在衬底上的沉积材料，角度控制部至少部分处于沉积材料的排放路径中用于控制沉积材料的排放角度，角度控制部驱动器用于使角度控制部在沉积材料的排放方向上移动以控制排放角度。

【技术实现步骤摘要】
沉积装置及用其制造有机发光二极管显示器的方法
本专利技术的实施方式涉及沉积装置以及使用该沉积装置制造有机发光二极管（OLED）显示器的方法。
技术介绍
有机发光二极管（OLED）显示器包括空穴注入电极、电子注入电极以及形成于二者之间的有机发射层。当从阳极注入的空穴和从阴极注入的电子在有机发射层中复合时，OLED显示器发出光。OLED显示装置具有高品质性能，诸如功耗低、亮度高、视角宽、响应速度快等，这种OLED显示装置作为用于移动电子装置的下一代显示装置而备受瞩目。OLED显示器包括有机发光显示面板，该有机发光显示面板包括其上形成有薄膜晶体管和有机发光二极管（OLED）的显示器衬底。有机发光二极管包括阳极、阴极以及有机发射层。从阳极和阴极分别注入空穴和电子以形成激子，并且激子跃迁至基态从而引起有机发光二极管发光。在诸如OLED显示器的平板显示器中，用作电极的有机材料或金属可利用真空沉积法沉积，真空沉积法用于在真空环境中使材料沉积并在平板上形成薄膜。真空沉积法将其上待形成有机薄膜的衬底放置在真空室内，并利用沉积源单元使有机材料蒸发或纯化以使有机材料沉积在衬底上。在用于真空沉积法的有机薄膜沉积装置中，形成于衬底上的有机薄膜的均匀性降低，从而在衬底上产生阴影，因而导致有机薄膜发光时像素的亮度均匀性降低。此外，在工序长时间进行后，从沉积源喷射出的沉积材料沉积在或积聚在喷嘴的整个表面上，导致材料的喷射角度随时间而减小而且实际沉积的量减少。在这种情况下，被沉积的薄膜的厚度降低，并且校正板的初始设计形式也会改变而破坏膜厚度的均匀性。在
技术介绍
部分公开的以上信息仅用于增强对所描述技术的背景的理解，因而可能包含这样的信息，即，其不构成对该国家相关领域技术人员来说已知的现有技术。
技术实现思路
本专利技术的实施方式提供了一种沉积装置和用于制造OLED显示器的方法，该沉积装置通过控制沉积角度来形成均匀的薄膜厚度。本专利技术的实施方式提供了一种沉积装置和用于制造OLED显示器的方法，该沉积装置通过控制可能随工序时间增加而改变的沉积角度来形成均匀的薄膜。本专利技术的示例性实施方式提供了一种沉积装置，其包括：沉积源，用于排放待沉积在衬底上的沉积材料；角度控制部，至少部分处于所述沉积材料的排放路径中，所述角度控制部用于控制所述沉积材料的排放角度；以及角度控制部驱动器，与所述角度控制部联接，所述角度控制部驱动器用于使所述角度控制部在所述沉积材料的排放方向上移动以控制所述排放角度。沉积源可包括用于排放沉积材料的喷嘴，而且角度控制部可包括一对角度控制部，所述一对角度控制部中的每一个均位于所述沉积源的较长侧上并且在所述沉积源的长度方向上延伸。沉积装置还可包括一对盖板，所述一对盖板中的每个位于所述一对角度控制部中的各角度控制部的一侧上，而且所述一对盖板可被配置为在与所述排放方向交叉的方向上移动以控制所述一对盖板之间的间隙。盖板的移动可对应于角度控制部的移动。所述一对盖板可包括在所述沉积源的所述长度方向上彼此相邻的至少两对盖板。所述至少两对盖板中的每个盖板可独立地操作。角度控制部驱动器可包括滚珠丝杠驱动器、汽缸驱动器或者线性移动引导驱动器。沉积装置还可包括控制器，该控制器用于控制角度控制部驱动器根据工艺条件来移动角度控制部。本专利技术的另一实施方式提供了一种制造有机发光二极管显示器的方法，所述方法包括：将衬底面朝用于排放沉积材料的沉积源；以及通过在所述衬底上排放所述沉积材料而在所述衬底上形成薄膜，其中，在所述衬底上形成所述薄膜包括通过使角度控制部相对于所述沉积源移动来控制所述沉积材料的排放角度，所述角度控制部部分处于所述沉积材料的所述排放路径中。移动所述角度控制部可包括以与经过的工序时间量对应的速度使所述角度控制部朝向所述沉积源移动。沉积材料可包括用于形成有机发射层的有机材料，而且所述薄膜可包括所述有机发射层。根据本专利技术的示例性实施方式，可形成大致均匀的薄膜厚度。此外，可在沉积角度随工序时间增加而改变时通过校正沉积角度来形成均匀的薄膜。另外，均匀的有机薄膜可被沉积在像素上以增加各个像素的亮度均匀性。附图说明图1示出了根据本专利技术的示例性实施方式的沉积装置的立体图；图2A至图2C示出了根据本专利技术的另一示例性实施方式的沉积装置的侧视图；图3A和图3B示出了根据本专利技术的另一示例性实施方式的沉积装置的侧视图；以及图4A和图4B示出了根据本专利技术的另一示例性实施方式的沉积装置的正视图。具体实施方式将参照附图描述根据本专利技术的实施方式的沉积装置和制造OLED显示器的方法。然而，本专利技术不限于所公开的示例性实施方式，而是可以以各种不同的形式实现。本文中的示例性实施方式使本专利技术的公开内容完整，并且向本领域技术人员全面提供对本专利技术的说明。相同的参考标号指示相同的元件。在附图中，层、膜、板、区域、区等的厚度可以被夸大，以用于清楚地示出和理解且易于描述。应该理解，当诸如层、膜、区域或衬底的元件“在”另一个元件“上”时，其可以直接在另一个元件上，或者在它们之间也可存在元件。此外，除非清楚地另有所指，词语“包括（comprise）”及其变型诸如“包括（comprises）”或“包括（comprising）”被理解为是指包含所指的元件，但并不排除任何其他元件。另外，在整个说明书中，“在…上”是指位于目标元件上方或下方，但不一定是指相对于重力的方向定位。图1示出了根据本专利技术的示例性实施方式的沉积装置的立体图，图2A至图2C示出了根据本专利技术的示例性实施方式的沉积装置的侧视图。沉积装置10包括沉积源100、角度控制部200以及角度控制部驱动器300。为了更好地理解且易于描述，在附图中没有示出真空室，但是图1和图2中的所有组件均位于真空室中。沉积装置10和用于形成薄膜的衬底（S）均位于真空室中。衬底（S）设置为面向沉积装置10。衬底（S）可在相对于沉积装置10移动的同时被沉积。当衬底（S）设置在水平方向上时，沉积装置10可分离地位于衬底（S）之下以排放沉积材料，而当衬底（S）设置在垂直方向上时，沉积装置10可分离地位于与衬底（S）平行的方向上（例如，参见图2A-3B）。在本专利技术的示例性实施方式中，沉积装置10被示出为分离地设置在与衬底（S）平行的方向上，而且例如衬底（S）可与在垂直方向上延伸的沉积装置10分离开。可使用沉积源100来排放沉积材料并使沉积材料沉积在衬底（S）上，该沉积源100包括用于在其中容纳待沉积的沉积材料的空间（未示出），待沉积的沉积材料可包括有机材料。用于容纳沉积材料的空间可由陶瓷材料形成，陶瓷材料例如为具有良好热辐射性的氧化铝（Al2O3）或氮化铝（AlN），但是不限于此，该空间也可由具有良好热辐射性和耐热性的各种材料形成。可提供加热器（未示出）对所容纳的沉积材料进行加热和蒸发，该加热器形成为附接至并围绕用于容纳沉积材料的空间的外侧。喷嘴110位于沉积源100面向衬底（S）的一侧，喷嘴110用于喷射沉积源的内部空间中被蒸发或纯化的沉积材料。其上将形成沉积材料的衬底（S）可形成为四边形，而沉积源可配置为线性沉积源，该线性沉积源中用于排放沉积材料的一个或多个喷嘴110可线性地设置在衬底（S）的一侧上。如图1所示，喷嘴110可以设置成直线，而且喷嘴110也可设置成多条直线。角度控制本文档来自技高网...

【技术保护点】
沉积装置，包括：沉积源，用于排放待沉积在衬底上的沉积材料；角度控制部，至少部分处于所述沉积材料的排放路径中，所述角度控制部用于控制所述沉积材料的排放角度；以及角度控制部驱动器，与所述角度控制部联接，所述角度控制部驱动器用于使所述角度控制部在所述沉积材料的排放方向上移动以控制所述排放角度。

【技术特征摘要】
2012.02.21 KR 10-2012-00174191.沉积装置，包括：沉积源，用于排放待沉积在衬底上的沉积材料；角度控制部，至少部分处于所述沉积材料的排放路径中，所述角度控制部用于控制所述沉积材料的排放角度；以及角度控制部驱动器，与所述角度控制部联接，所述角度控制部驱动器用于使所述角度控制部在所述沉积材料的排放方向上移动以控制所述排放角度，其中所述角度控制部包括一对角度控制部，所述一对角度控制部中的每一个位于所述沉积源的长侧上并且在所述沉积源的长度方向上延伸。2.如权利要求1所述的沉积装置，其中所述沉积源包括用于排放所述沉积材料的喷嘴。3.如权利要求2所述的沉积装置，还包括一对盖板，每个盖板位于所述一对角度控制部中的各角度控制部的一侧上，其中，所述一对盖板配置为在与所述排放方向交叉的方向上移动以控制所述一对盖板之间的间隙。4.如权利要求3所述的沉积装置，其中，所述盖板的移动对应于所述角度控制部的移动。5.如权利要求3所述的沉积装置，其中，所述一对盖板被分成在所述沉积源的所述长度方向上彼此相邻的至少两对盖板。6.如权...

【专利技术属性】
技术研发人员：李相雨，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：