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有源区沟槽分散式排列的半导体元件结构制造技术
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文档序号:9077951
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本实用新型公开了一种有源区沟槽分散式排列的半导体元件结构,其包含一半导体基板、一外延层及一有源区介电层。半导体基板以一第一掺杂浓度掺杂有一第一型半导体杂质,外延层形成于半导体基板上,以一第二掺杂浓度掺杂有第一型半导体杂质,并且开设有多个有源...
该专利属于台湾半导体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾半导体股份有限公司授权不得商用。
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