下载一种多晶硅铸锭炉底部电磁感应加热系统的技术资料

文档序号:9072376

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本实用新型提供了一种多晶硅铸锭炉底部电磁感应加热系统,其利用电磁感应加热技术直接加热坩埚底部的发热体,从而实现热场内部的温度均匀性;同时由于硅熔化之后,其导电性能良好,在电磁波的作用下,产生流动,有利于定向凝固过程中的排除杂质,其结构简单,...
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