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本实用新型提供了一种清洁装置，涉及液晶显示器的生产设备技术领域，解决了使用现有的清洁装置会导致对镀膜腔体的清洁成本增加的问题。本实用新型实施例提供了一种清洁装置，用于清洁至少一个镀膜腔体，包括一进气管，一输气管，一等离子源单元，至少一个镀膜...
该专利属于北京京东方光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京京东方光电科技有限公司授权不得商用。

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