下载板状接合体的制造方法、接合装置及板状接合体的技术资料

文档序号:9064670

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本发明在不使气泡残存的情况下在短时间使粘接剂在基板间进行涂敷扩散。本发明包括:使第一基板(5)和第二基板(6)的各粘接面相向,一边使第二基板(6)的粘接面向第一基板(5)侧弯曲一边保持在第一基板(5)上的保持工序;在第一基板(5)与第二基板...
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