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隔离元件及其制造方法技术
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文档序号:9061569
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本发明提出一种隔离元件及其制造方法,隔离元件与高压元件共同形成于基板中。隔离元件包含:隔离井区,利用形成高压元件的微影制程与离子植入制程形成于基板中;栅极,形成于基板表面上;源极、漏极,分别位于栅极两侧的隔离井区中,且漏极与该源极由栅极隔开...
该专利属于立锜科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过立锜科技股份有限公司授权不得商用。
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