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本发明涉及一种用于与环境室(101)和电子显微镜协作的固持器组件,环境室呈现流体入口(103),电子显微镜呈现用于使电子显微镜的可抽空部分与电子显微镜的外部分离的真空壁(110),固持器组件包括用于形成与电子显微镜的密封接口的电子显微镜接口...该专利属于FEI公司;代夫特科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过FEI公司;代夫特科技大学授权不得商用。
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本发明涉及一种用于与环境室(101)和电子显微镜协作的固持器组件,环境室呈现流体入口(103),电子显微镜呈现用于使电子显微镜的可抽空部分与电子显微镜的外部分离的真空壁(110),固持器组件包括用于形成与电子显微镜的密封接口的电子显微镜接口...